「エネルギー理工学設計演習・実験２」別冊
1998.09.25 1999.04.26 rev.1
keywords: reference, catalog, ULVAC, ANELVA, Varian, Huntington, Ceramaseal
参考になる図書やカタログを示します。特定のメーカーのカタログを記載することは好ましくないかもしれませんが、真空機器を設計・製作する上で必要な部品が数多く掲載されているか、特定の用途によく用いられているという理由で選びました。ですから、ここに挙げているメーカー以外にも、品質・価格共に優れたメーカーがあることや、ここに挙げたメーカーの製品について品質を保証するものではないことをご了承下さい。また、図書についても、手近にあったために参考にした本しか記していません。他にも優れた本があると思いますので、もし必要があるのなら、図書館や書店等で内容をざっと見て、自分の目的に合った本を借用したり、購入すればよいと思います。
参考図書
[1] 堀越源一 「真空技術」（第２版） 東京大学出版会 (1983).
２００頁弱のＡ５版で、この種の本としては薄い方ですが、必要な項目が一通り説明されていて、判りやすい内容になっています。入門書としても実用書としても適切だと思います。
[2] 熊谷寛夫、富永五郎編 「真空の物理と応用」 裳華房 (1970).
[1]よりも大部で、それだけ各項目とも詳しく記載されています。表題から察せられるように、特に真空に関連する物理現象に多くの頁を割いています。また、真空技術の歴史も簡単に紹介されています。ある程度の経験や知識のある人に向いていると思います。
[3] 林主税編 「真空技術」 共立出版 (1985).
[2]と同じ程度の量ですが、より実用的で、ポンプや計器等について詳しく記載されています。[1]より多くの情報が必要な人に良いでしょう。
[4] G.F.Weston著、石川和雄訳「超高真空技術の実際」 共立出版 (1991).
英国 Vacuum 誌の教育シリーズに掲載された記事がもとになっているそうです。表題の通り超高真空が主な対象ですが、設計資料としての価値もありそうです。
[5] 石井博 「真空技術」 コロナ社 (1960).
現在でも出版されているかは知りません。４０年程前の本ですので、記載されている内容は古いのですが、超高真空を取り扱わないのであれば、今でも役に立ちます。部品や計器を自作する場合のヒントも多く見られます。
[6] 富永五郎、辻泰 「真空工学の基礎」 日刊工業新聞社 (1964).
この本も随分古いのですが、理論的な内容が主ですので、私はよく参考にしています。ただし、ポンプや部品等については全く書かれていません。
[7] 「真空ハンドブック」（改訂版Ⅲ） アルバック・コーポレートセンター (1989).
名前の通りハンドブックです。実際に真空機器を組み立てたり設計したりする場合に便利ですが、残念なことに非売品です。
(rev.1 [8] を追加)
[8] 金持徹編 「真空技術ハンドブック」 日刊工業新聞社 (1990).
用例の豊富なハンドブックで、ここに紹介した中では[4]と並んで新しく刊行された本です。
カタログ
[C1] Varian Vacuum Products 1997/1998 Catalog (1997).
エッジで銅ガスケットを介してシールする超高真空フランジ ConFlat は Varian社の商品名です。Varian社は総合真空機器メーカーですので、このカタログ一冊あれば、どのような部品、ポンプ、計器があるのか大体判ります。価格は記載されていません。
[C2] Hungtinton Vacuum Components
カタログ名称のように、部品が主です。価格が記載されていますので、装置全体のざっとした値段を推定することができます。
[C3] ULVAC グループ製品案内 1985
国内大手のメーカーである日本真空技術株式会社をはじめとするいくつかのメーカーの製品をまとめたカタログで、真空熱処理炉からUFCフランジ(Varian社ConFlat相当品)まであります。製品の詳細を知るには個別のカタログが必要ですが、[C1]より広い範囲で真空関連機器をざっと見るのに便利です。
[C4] ANELVA Vacuum Components Catalog
国内大手メーカーである日電アネルバ株式会社の総合カタログです。取扱範囲は[C1]に近く、オプション品も記載されているため、[C1]の替わりにこれがあっても良いと思います。
[C5] CERAMASEAL 1996 International Product Guide
導入端子や Viewport を専門とするメーカーで、自作のためのパーツも多数あります。
［C6］ 大阪バルブフィッティングカタログ
小口径配管部品メーカーである Crawford Fitting(Swagelok), Whitey, Nupro, Cajon, Sno-Trik 各社のカタログをまとめたファイルです。
このページは、高木郁二が担当している京都大学工学部物理工学科の講義・実験を補う資料として作成したものです。ご意見・お問い合わせはこちらまでお願いします。