| AWARDS | |
| 日本表面真空学会 マイクロビームアナリシス技術部会 第21回研究会 優秀ポスター賞（2025年） |
水谷優里 ”Ar-GCIB照射によるmPEG分子の損傷” |
| UKSAF Rivière Prize（2025年） |
松尾二郎 |
| 第58回（2025年春季）応用物理学会講演奨励賞（2025年） | 水谷優里 |
| 15th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices (ALC'24) Student Award（2024年） |
水谷優里 ”Study on the polymer damage by sputtering with Ar gas cluster ion beam” |
| ECASIA Award（2022年） | 松尾二郎 |
| 第21回QSEC公開シンポジウム ポスター賞（2020年） |
野々村知也 ”リチウムイオン電池電解液のＭｅＶ－ＳＩＭＳ測定” |
| 第12回応用物理学会 フェロー表彰（2018年） | 松尾二郎 “クラスターイオンビームを用いた2次イオン質量分析法の研究開発” |
| DPS2016 Best Presentation Award（2016年） | T. Seki, A. Aoki, J. Matsuo |
| SIMS20 Rowland Hill Student Award（2015年） | 草刈将一 |
| 第60回応用物理学会春季学術講演会 ポスター賞（2013年） | 中川駿一郎 |
| 日本学術振興会第141委員会 榊賞（2011年） | 松尾二郎 |
| 第7回励起ナノプロセス研究会 ポスター賞（2011年） | 本谷 |
| 日本質量分析学会 会誌賞（2000年） | 松尾二郎 |
| 応用物理学会 講演奨励賞（1995年） | 松尾二郎 |
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