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１． クラスターイオンビーム
２． MeV重イオンビーム
３． 極短パルスレーザービーム
などの量子ビームを用い、ナノ加工分野や生命科学分野で必要とされる新しいプロセス技術、分析技術、評価技術の研究開発を行うとともに、コンピュータシミュレーションを用いたこれらの新技術の理論的なメカニズムの解明を行い、量子ビーム工学分野における最先端の研究を行っています。
量子ビームには様々な種類があり、それぞれに特徴的な性質や照射効果を持っています。これら量子ビームのもつ特徴的な性質や照射効果を利用することで、従来のビームでは実現できないような新しい加工や分析を実現することができます。
ここでは、当研究室で用いられている量子ビームの特徴と、それを用いた研究内容について紹介します。
１． クラスターイオンビーム
1.1 クラスターイオンビームの特徴
1.2 クラスターイオンビームを用いた研究
・1.2.1 クラスターイオンビームによる超高速ナノ加工
・1.2.2 クラスター援用蒸着法による高品位多層膜形成
・1.2.3 クラスターを一次ビームとする高分解能SIMS測定
・1.2.4 計算機シミュレーションでみるイオン衝突現象
2.1 MeV重イオンビームの特徴
2.2 MeV重イオンビームを用いた研究
3.1 極短パルスレーザービームの特徴
3.2 極短パルスレーザービーム研究