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大電流クラスターイオンソース
（Millennium Ⅰ）
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大面積クラスターイオンビーム照射装置
（Millennium Ⅱ）
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反応性クラスター照射装置
（CL）
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高エネルギークラスターイオンビーム照射装置
（Quantum Ⅱ）
ガスクラスターイオンビーム援用蒸着装置
ガスクラスターイオンビーム二次イオン質量分析装置
（GCIB-AccuTOF 1)
ガスクラスターイオンビームタンデム型二次イオン質量分析装置
（GCIB-Q-TOF)
電解放出形走査型電子顕微鏡
（JSM-7505FS,JEOL）
走査型プローブ顕微鏡
（SPM-9500 J2, 島津製作所）
触針型段差計
（DeK Tak3, Veeco社）
分光エリプソメーター
蛍光観察装置付倒立型顕微鏡
（TS-100, Nikon）
表面構造評価用多機能X線回帰装置
（ATX-G, Rigaku）
MeV重イオンビーム二次イオン質量分析装置
（MeV-SIMS)
酸・有機用ドラフト
生体試料用クリーンベンチ
（MCV-B91S, SANYO）